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内部热源的解决
为了解决三坐标测量机内部热源对测量机的影响，常常动用红外线的热探测仪，来发现测量机的内部热源，研究发现电机及其传动装置是测量机的主要热源。
因此，蔡司系列三坐标测量机重要改进之一就是把固定的柔性齿轮带改为回转的齿轮带，目的是把电机从主腿上移到底座之外，因而改善了导轨受热状况，减小了导轨变形。
外部热源的解决
减少外部热源的影响是三坐标测量机首要考虑的因素，应避免日光直接照射，不要用白炽灯用冷光灯，不要过多的人的聚焦，因为人群形成的温度场对精度的影响也很大。
对热源的隔离，只有较好的恒温间是首选，但亦是较贵的解决方案，另外一种方法是三坐标测量机自带的恒温隔离间或在外罩内有恒温所流流动。
关于温度场的变化，这里特别要指出，影响最坏的不一定是高频变化的温度场，而是一日两个周期的温度变化，这相当于白天开空调，晚上关空调的情况。
