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蔡司三坐标的测量过程,是由测头通过三个坐标轴导轨在三个空间方向自由移动实现的，在测量范围内可到达任意一个测点。三个轴的测量系统可以测出测点在X，Y，Z三个方向上的准确坐标位置。根据被测几何型面上若干个测点的坐标值即可计算出待测的几何尺寸和形位误差。另外，在测量工作台上，还可以配置绕Z 轴旋转的分度转台和绕X 轴旋转的带尖座的分度头，以方便螺纹、齿轮、凸轮等的测量。
以下是蔡司三坐标系统的硬件主要有三部分组成：
⑴ 终控制计算机和打印机：在三坐标测量机系统的硬件结构中，计算机是整个测量系统的管理者。计算机实现与操作者对话、控制程序的执行和结果处理与外设的通讯等功能。
⑵ 数控设备及其外设：数控设备是计算机和测量机的接口（I/O，工具信号，紧急情况等）数控设备通过由计算机传来的数据计算出参考路径，不断地控制测量机的运动及与手提式控制盒的通讯。
⑶ 三坐标测量机：三坐标测量机的主体主要由以下各部分组成：底座、测量工台、立柱、X向支撑梁和导轨、Y向支撑梁和导轨、Z轴部件、测头、驱动电机及测长统。其结构形式主要取决于三组坐标的相对运动方式，它对测量机的精度和适用性影响很大。
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