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目前工业制造领域使用蔡司三坐标的越来越广泛，对其精度要求越来越高。为了进一步提高三坐标测量机的测量精度，需要针对影响三坐标测量机精度的因素采取一系列综合性措施。首先是提高标尺的精度。
激光干涉标尺系统将在测量机中得到较多应用。特别是大型三坐标测量机，这种“无形”标尺更有独特的优点。
1、为了提高三坐标测量机的测量精度，必须提高他的结构精度，其中包括测量机主机、分度台、测头与各种测头附件的精度。这里尤为重要的是提高他的重复精度。
2、要努力减小力变形、热变形及其它环境因素带来的影响。特别要注意避免复杂力变形与热变形。这要从结构和环境控制两方面采取措施。
3、还要采用适当的采样策略。测量机应具有智能功能，能针对被测参数及精度要求，采用最佳采样策略。
