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蔡司三坐标是相当精密的一种测量仪器，在平时的使用的过程中，保养和维护非常的重要。如何维护和保养不好可能会直接影响到测量的精度、速度和使用的寿命。所以一定要做好维护，为了保证三坐标测量机精度的稳定性机及延长机器使用寿命，请严格按照三坐标的使用要求来测量：
1.每日开机前检查机器后面的气体安装板是否有气，每日对气体安装板的三联体放水，以免水分进入空气轴承，影响精度。
2.检查X、Y、Z轴运动是否正常，全行程运行，检查数显是否工作正常。
3.每月用吸尘器清理外表及环境;检查压缩空气压力表示值是否正常。(应指示在0.55-0.65Mpa之间);检查平衡装置有无故障，若损坏应立即修理更换。
4.检查以上项目无问题后，开计算机使机器回零。如没有问题，则开始校验标准球，校验标准球是重点。
5.环境温度，20℃±2℃，相对湿度55%-65%。
6.操作员每天开机前应该用干净的绸布蘸适量的高纯度酒精擦拭气浮导轨的工作区。注意：擦拭时由机内向机外方向擦拭。
7.工作完毕后，记住关闭测量机气体安装板上的气源。
8.气动调压阀：每季度检查调压阀，调压阀压力指示应在0.2~0.3Mpa之间，手拉Z轴上下移动，拉力和阻力应相等。若调压阀压力指示不在该范围内，则需更换气动调压阀。
9.同步带每季度检查同步带，如同步带有磨损、断裂现象，则需 予以更换。
